《化学气相沉积法合成碳化钽-石墨复合膜》

表1 不同工艺参数下合成的TAc-石墨复合膜的表面粗糙度

图1 样品1、2、3、4和5的TAc-石墨复合膜的2 × 2微米面积上的3D原子力显微镜图像[在(a) 25托、(b) 60托、(c) 100托、(d)950℃和(e) 6体积% CH4下沉积]

图2 显示样品1、2、3、4和5的TAc-石墨复合膜厚度的SEM断裂截面图[沉积在(a) 25托、(b) 60托、(c) 100托、(d)950℃和(e) 6体积% CH4下]

图3 样品1、2、3、4和5的TAc-石墨复合膜的XRD图案[沉积在(a) 25托、(b) 60托、(c) 100托、(d)950℃和(e) 6体积% CH4下]